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    A digital test structure for simultaneous bird's beak length and misalignment measurement in polysilicon emitter bipolar technologies
    Ullan, M. ; Lozano, M. ; et al.
    In: 1997 IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures Proceedings, 1997, S. 25-30
    Online Konferenz
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    Lateral power MOSFET low-doped drain (LDD) misalignment test structure
    Vitomirov, I.M. ; Seabridge, S.N. ; et al.
    In: 1997 IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures Proceedings, 1997, S. 31-34
    Online Konferenz
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
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    Reference-length shortening by Kelvin voltage taps in linewidth test structures replicated in monocrystalline silicon films
    Lee, W.E. ; Guthrie, W.F. ; et al.
    In: 1997 IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures Proceedings, 1997, S. 35-38
    Online Konferenz
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    Volltext
    Wie komme ich dran?
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    Evaluation of h/sub FE/ fluctuation of high-performance IDP emitter transistors by using test structures
    Tamaki, Y. ; Hashimoto, T. ; et al.
    In: 1997 IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures Proceedings, 1997, S. 184-187
    Online Konferenz
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    Novel structure to measure emitter-base misalignment
    Fallon, M. ; Redford, M. ; et al.
    In: 1997 IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures Proceedings, 1997, S. 156-158
    Online Konferenz
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    Study of "on-chip" measurement methods of thin film mechanical properties for micromachining
    Zou, Quanbo ; Li, Zhijian ; et al.
    In: 1997 IEEE International Conference on Microelectronic Test Structures Proceedings, 1997, S. 209-211
    Online Konferenz
    Zugriff:
    Volltext
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