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    Low temperature process below 170 °C for hydrophilic and hydrophobic micro patterns
    Nakagami, C. ; Tonomura, W. ; et al.
    In: 2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013-06-01, S. 1111-1114
    Online Konferenz
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    Improved enzyme immobilization for enhanced bioelectrocatalytic activity of choline sensor
    Wang, Y. T. ; Wang, J. ; et al.
    In: 2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013-06-01, S. 353-356
    Online Konferenz
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    Conferring flexibility and reconfigurability to a 26,400 microelectrode CMOS array for high throughput neural recordings
    Muller, J. ; Ballini, M. ; et al.
    In: 2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013-06-01, S. 744-747
    Online Konferenz
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    Harvesting energy from low frequency vibration using MSMA/MFC laminate composite
    Ju, S. ; Chae, S. H. ; et al.
    In: 2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013-06-01, S. 1348-1351
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    Wearable thermoelectric generator for human clothing applications
    Kim, M. K. ; Kim, M. S. ; et al.
    In: 2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013-06-01, S. 1376-1379
    Online Konferenz
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    Flexible pneumatic twisting actuators
    Gorissen, B. ; Chishiro, T. ; et al.
    In: 2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013-06-01, S. 1687-1690
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    A micromechanical resonant charge pump
    Lin, Yang ; Liu, Ruonan ; et al.
    In: 2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013-06-01, S. 1727-1730
    Online Konferenz
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    Optimal articulation strategy for a microfabricated gecko-inspired controllable adhesive
    Tomelie, J. ; Chary, S. ; et al.
    In: 2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013-06-01, S. 1923-1926
    Online Konferenz
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    Batch fabrication of micro preconcentrator with thin film microheater using Tollen's reaction
    Lin, Y. S. ; Kuo, C. Y. ; et al.
    In: 2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013-06-01, S. 2025-2028
    Online Konferenz
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  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Design and characterization of mechanically-coupled CMOS-MEMS filters
    Chen, Chao-Yu ; Li, Ming-Huang ; et al.
    In: 2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013-06-01, S. 2288-2291
    Online Konferenz
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    The effects of tight capacitive coupling on phase noise performance: A Lamé-mode MEMS oscillator study
    Zhu, Haoshen ; Chuang, Chieh-Hsu ; et al.
    In: 2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013-06-01, S. 2304-2307
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    A raster-output 2D MEMS scanner with an 8 × 4 mm mirror for an automotive time-of-flight image sensor
    Aoyagi, I. ; Hamaguchi, K. ; et al.
    In: 2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013-06-01, S. 2321-2324
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    A facile, standardized fabrication approach and scalable architecture for a micro gas chromatography system with integrated pump
    Qin, Y. ; Gianchandani, Y. B.
    In: 2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013-06-01, S. 2755-2758
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Water-soluble sacrificial layer enables ultra low-cost LOC integration of magnetic resonance microcoils with 100% filling factor
    Gruschke, O. G. ; Kamberger, R. ; et al.
    In: 2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013-06-01, S. 132-134
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    MEMS technologies in life sciences
    Lang, H. P. ; Huber, F. ; et al.
    In: 2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013-06-01, S. 1-4
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    An arrayed MEMS accelerometer with a wide range of detection
    Yamane, D. ; Konishi, T. ; et al.
    In: 2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013-06-01, S. 22-25
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    A high aspect ratio MEMS process with surface micromachined polysilicon for high accuracy inertial sensing
    Geisberger, A. ; Schroeder, S. ; et al.
    In: 2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013-06-01, S. 18-21
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    Executive committee
    In: 2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013-06-01, S. 1-5
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    Piezoelectric accelerometer based on micro injection molded polymers
    Schulze, R. ; Heinrich, M. ; et al.
    In: 2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013-06-01, S. 35-38
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    Author index
    In: 2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013-06-01, S. 1-51
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