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    2008 Index Journal of Microelectromechanical Systems Vol. 17
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 17 (2008-12-01), Heft 6, S. 1558-1580
    Online academicJournal
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    Lamé Resonator Integrated With Chevron-Shaped Thermal Actuators to Improve Motional Resistance and Temperature Stability
    Kolahdouz-Moghaddam, A. ; Nabavi, S. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 32 (2023-06-01), Heft 3, S. 229-240
    Online academicJournal
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    A Review on MEMS Silicon Resonant Accelerometers
    Zhang, Z. ; Zhang, H. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 33 (2024-04-01), Heft 2, S. 174-208
    Online academicJournal
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    Silicon-Based Suspended Microchannel Resonator Developed Using Au Thermal Diffusion Bonding for Mass Sensing of Biomaterials
    Funayama, K. ; Miura, A. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 33 (2024-04-01), Heft 2, S. 282-289
    Online academicJournal
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    Thin-Film Piezoelectric Unimorph Actuator-Based Deformable Mirror With a Transferred Silicon Membrane
    Yang, E. H. ; Hishinuma, Y. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-10-01), Heft 5, S. 1214-1225
    Online academicJournal
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    Design, Fabrication, and Characterization of Scandium Aluminum Nitride-Based Piezoelectric Micromachined Ultrasonic Transducers
    Wang, Q. ; Lu, Y. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 26 (2017-10-01), Heft 5, S. 1132-1139
    Online academicJournal
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    Multilayer Masking Technology for Fabricating Airborne CMUTs With Multi-Depth Fluidic Trenches
    Ma, B. ; Firouzi, K. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 31 (2022-06-01), Heft 3, S. 393-401
    Online academicJournal
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    Electrothermal Microgripper With Large Jaw Displacement and Integrated Force Sensors
    Chu Duc, T. ; Lau, G. K. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 17 (2008-12-01), Heft 6, S. 1546-1555
    Online academicJournal
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    Polymeric Thermal Microactuator With Embedded Silicon Skeleton: Part II—Fabrication, Characterization, and Application for 2-DOF Microgripper
    Chu Duc, T. ; Lau, G. K. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 17 (2008-08-01), Heft 4, S. 823-831
    Online academicJournal
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    A Self-Breathing Proton-Exchange-Membrane Fuel-Cell Pack With Optimal Design and Microfabrication
    Chen, C. ; Li, X. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-10-01), Heft 5, S. 1088-1097
    Online academicJournal
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  11. Detailansicht für Treffer 11 öffnen
    Thermomigration-Based Junction Isolation of Bulk Silicon MEMS Devices
    Chung, C.C. ; Allen, M.G.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-10-01), Heft 5, S. 1131-1138
    Online academicJournal
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    A Microfabricated Nebulizer for Liquid Vaporization in Chemical Analysis
    Franssila, S. ; Marttila, S. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-10-01), Heft 5, S. 1251-1259
    Online academicJournal
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    A MEMS Photosynthetic Electrochemical Cell Powered by Subcellular Plant Photosystems
    Lam, K.B. ; Johnson, E.A. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-10-01), Heft 5, S. 1243-1250
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    A Micro-Fabricated Linear Array of Electrospray Emitters for Thruster Applications
    Velasquez-Garcia, L.F. ; Akinwande, A.I. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-10-01), Heft 5, S. 1260-1271
    Online academicJournal
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    A Planar Array of Micro-Fabricated Electrospray Emitters for Thruster Applications
    Velasquez-Garcia, L.F. ; Akinwande, A.I. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-10-01), Heft 5, S. 1272-1280
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  16. Detailansicht für Treffer 16 öffnen
    Comprehensive Model for Thermopneumatic Actuators and Microvalves
    Henning, A.K.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 15 (2006-10-01), Heft 5, S. 1308-1318
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  17. Detailansicht für Treffer 17 öffnen
    Energy dissipation in submicrometer thick single-crystal silicon cantilevers
    Yang, Jinling ; Ono, T. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 11 (2002-12-01), Heft 6, S. 775-783
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  18. Detailansicht für Treffer 18 öffnen
    JMEMS Letters Fabrication of Self-Sealed Circular Microfluidic Channels in Glass by Thermal Blowing Method
    Lathia, R. ; Sen, P.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 31 (2022-04-01), Heft 2, S. 177-179
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  19. Detailansicht für Treffer 19 öffnen
    Quantification of Energy Dissipation Mechanisms in Toroidal Ring Gyroscope
    Wang, Y. ; Lin, Y. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 30 (2021-04-01), Heft 2, S. 193-202
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    Thermal Analysis of a Microhotplate - An Experimental Study
    Saxena, G. ; Singh, D. ; et al.
    In: Journal of Microelectromechanical Systems, Jg. 29 (2020-06-01), Heft 3, S. 408-417
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