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In: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023-06-25, S. 1770-1773Online KonferenzZugriff:
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In: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023-06-25, S. 175-178Online KonferenzZugriff:
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In: 2023 22nd International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (Transducers), 2023-06-25, S. 1798-1800Online KonferenzZugriff: