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  1. Suzuki, H. ; Kato-Yamada, Y. ; et al.
    In: 17th IEEE International Conference on Micro Electro Mechanical Systems. Maastricht MEMS 2004 Technical Digest, 2004, S. 272-275
    Online Konferenz
  2. Yasuga, H. ; Kawano, R. ; et al.
    In: 2013 Transducers & Eurosensors XXVII: The 17th International Conference on Solid-State Sensors, Actuators and Microsystems (TRANSDUCERS & EUROSENSORS XXVII), 2013-06-01, S. 1221-1222
    Online Konferenz
  3. Sahin, Ozgur
    In: 2009 IEEE/LEOS International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 2009-08-01, S. 13
    Online Konferenz

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