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    Deeply-etched 1 micron-thick silicon layers enabling 170-NM bandwidth highly-reflective Bragg mirrors
    Omran, Haitham ; Sabry, Yasser M. ; et al.
    In: 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 2014-08-01, S. 137-138
    Online Konferenz
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    50μm gap 8×8 pixels deformable mirror fabricated by membrane transfer process
    Wu, T. ; Sasaki, T. ; et al.
    In: 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 2014-08-01, S. 171-172
    Online Konferenz
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    Volltext
    Wie komme ich dran?
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    Miniature fiber facet atomic force microscope using photonic crystal sensors
    Gellineau, Antonio ; Wong, Yu-Po ; et al.
    In: 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 2014-08-01, S. 3-4
    Online Konferenz
    Zugriff:
    Volltext
    Wie komme ich dran?
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    Tunable optical filters based on silicon nitride mem-branes with subwavelength gratings
    Wang, Yue ; Stellinga, Daan ; et al.
    In: 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 2014-08-01, S. 13-14
    Online Konferenz
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    Wie komme ich dran?
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    Two axial shearing force measurement device with a micro displacement sensor
    Harisaki, Kota ; Takeshita, Toshihiro ; et al.
    In: 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 2014-08-01, S. 213-214
    Online Konferenz
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    Wie komme ich dran?
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    MEMS deformable mirror with integrated black silicon aperture
    Liu, Tianbo ; Dickensheets, David L.
    In: 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 2014-08-01, S. 215-216
    Online Konferenz
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    Wie komme ich dran?
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    A near infrared schottky photodetector using surface plasmon resonance of Au grating on a tilting mirror for spectroscopy
    Chen, Wenjing ; Isozaki, Akihiro ; et al.
    In: 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 2014-08-01, S. 221-222
    Online Konferenz
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    Fabry-Perot resonators based on photonic crystal mirrors with strong gradients of reflected phase
    Gellineau, Antonio ; Wong, Yu-Po ; et al.
    In: 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 2014-08-01, S. 57-58
    Online Konferenz
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    Large-displacement electrostatic deformable mirror using movable bottom electrodes
    Tsuchiya, Toshiyuki ; Singh, Vijay Kumar ; et al.
    In: 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 2014-08-01, S. 119-120
    Online Konferenz
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  10. Detailansicht für Treffer 10 öffnen
    Optical position detection for MOEMS scanner mirrors with arbitrary trajectories
    Tortschanoff, Andreas ; Baumgart, Marcus ; et al.
    In: 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 2014-08-01, S. 135-136
    Online Konferenz
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    Dual-axis hybrid-MEMS mirror having Si and polymer hinges for large-area 2D raster scan
    Yamashita, Hirofumi ; Terao, Kyohei ; et al.
    In: 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 2014-08-01, S. 167-168
    Online Konferenz
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  12. Detailansicht für Treffer 12 öffnen
    Optical feedback control of resonant fibre scanners
    Mokhtar, M. H. H. ; Syms, R. R. A.
    In: 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 2014-08-01, S. 93-94
    Online Konferenz
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  13. Detailansicht für Treffer 13 öffnen
    A biaxial piezoelectric MEMS scanning mirror and its application to pico-projectors
    Ikegami, Keiichi ; Koyama, Takaaki ; et al.
    In: 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 2014-08-01, S. 95-96
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  14. Detailansicht für Treffer 14 öffnen
    Monolithic Ni-electroplated microstructure and its application in micro mirrors and micro assembly
    Chiu, Yi ; Lai, Wen-Ching ; et al.
    In: 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 2014-08-01, S. 97-98
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  15. Detailansicht für Treffer 15 öffnen
    Resonant PZT MEMS scanners with integrated angle sensors
    Baran, Utku ; Holmstrom, Sven ; et al.
    In: 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 2014-08-01, S. 99-100
    Online Konferenz
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    λ/8 Precision parabolic resonant varifocal mirror
    Nakazawa, Kenta ; Sasaki, Takashi ; et al.
    In: 2014 International Conference on Optical MEMS and Nanophotonics, 2014-08-01, S. 101-102
    Online Konferenz
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