4 Diffusion in silicides
In: Diffusion in Semiconductors, Jg. 33A (1998), S. 1-38
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4 Diffusion in silicides
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Autor/in / Beteiligte Person: | Beke, D. L. [Ed.] ; Gas, P. ; d’Heurle, F. M. ; Martienssen, W. ; Madelung, O. ; Hellwege, K. H. |
Zeitschrift: | Diffusion in Semiconductors, Jg. 33A (1998), S. 1-38 |
Veröffentlichung: | 1998 |
Medientyp: | E-Book |
ISBN: | 978-3-540-49748-6 (print) ; 978-3-540-60964-3 (print) ; 3-540-49748-X (print) ; 3-540-60964-4 (print) |
ISSN: | 1616-9549 (print) ; 1615-1925 (print) |
DOI: | 10.1007/10426818_13 |
Sonstiges: |
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